電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測是保障超純水（UPW）品質(zhì)的核心設(shè)備，主要用于實(shí)時(shí)監(jiān)測水中硅酸根離子（SiO?²?）的痕量殘留，防止硅污染導(dǎo)致的芯片良率下降，其檢測下限可至0~200μg/L，精度達(dá)±2%FS，并支持至多6通道檢測，通過實(shí)時(shí)硅離子數(shù)據(jù)反饋，可聯(lián)動(dòng)水處理系統(tǒng)動(dòng)態(tài)調(diào)整反滲透（RO）和離子交換工藝，確保硅含量≤0.1mg/L。

電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測

儀器介紹

XT-SiO32-型在線硅酸根分析儀是一種基于光電比色法技術(shù)的智能水質(zhì)監(jiān)測儀器，可用于實(shí)時(shí)監(jiān)測水體中硅酸根離子（SiO?2?或溶解態(tài)SiO?）的濃度，主要應(yīng)用于電力與能源行業(yè)、化工與工業(yè)水處理、電子半導(dǎo)體與新能源行業(yè)等領(lǐng)域。具體包括監(jiān)測電廠中鍋爐給水、蒸汽冷凝水中的硅酸根含量、石化冶金廠循環(huán)冷卻水硅含量監(jiān)控、半導(dǎo)體超純水的硅含量檢測中。

技術(shù)特點(diǎn)

采用鼓氣式液壓加藥方式，可實(shí)現(xiàn)精確計(jì)量，測量誤差≤±2%FS；

冷光源分光測量，延長了光源的使用壽命；

支持自動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)清洗、自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及多通道檢測，減少人工干預(yù)；

無需預(yù)處理樣品，適合24h連續(xù)在線監(jiān)測；

隔離的4～20mA電流輸出，通訊接口可選擇RS-485，便于接入自動(dòng)化控制系統(tǒng)；

電子半導(dǎo)體廠在線硅酸根分析儀 超純水監(jiān)測程序設(shè)計(jì)簡單，操作界面清晰，保證用戶能直接上手操作。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體與電子制造

超純水監(jiān)測

超純水系統(tǒng)中硅污染控制，硅表用于控制超純水的硅含量（≤0.1mg/L），保障芯片生產(chǎn)用水純度，避免硅污染影響芯片良率。

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號(hào)：XT-SiO32-

測量范圍：0-200ug/L/ppb或0-2000ug/L/ppb

顯示方式：彩色液晶屏顯示，耐溫至80℃不變黑

精 確 度：±2%FS

重 復(fù) 性：不大于1%

穩(wěn) 定 性：基線漂移：使用空白校準(zhǔn)，不影響準(zhǔn)確度

化學(xué)漂移：不大于1%讀數(shù)/月（視試劑穩(wěn)定性而異）

試劑種類：3種

溫補(bǔ)范圍：0～60℃

運(yùn)行條件：流量100—300mL/min，溫度5～50℃，壓力14Kpa，水樣不大于5微米（無膠狀物，無油脂）

環(huán)境溫度：0-45℃，85%RH不結(jié)露

繼 電 器：標(biāo)配2組，可擴(kuò)展6組，常開觸點(diǎn)

電流輸出：4～20mA輸出

數(shù)字輸出：RS-485數(shù)字通訊

供電電源：AC220V，50HZ

安裝方式：面板開孔/壁掛安裝